Capteur de pression absolue

pour avionpour l'aérospatiale

Les capteurs de pression à base de MEMS sont idéaux pour la mesure de pressions à haut débit et de haute précision, c'est pourquoi les capteurs de pression à base de MEMS sont choisis pour remplacer les capteurs à jauges de contrainte conventionnels dans diverses applications dans les lanceurs et avions. La cellule de pression MEMS est constituée d'un diaphragme en silicium micro-usiné comme élément de détection sur le dessus duquel les résistances piézoélectriques sont implantées dans la configuration du pont en pierre de blé pour former l'unité de transduction. La fiabilité et la qualité de ce transducteur absolu basé sur MEMS sont un contrôle de processus efficace, un contrôle de qualité en ligne, des tests systématiques et une évaluation.