Logiciel de gestion MeX

d'analysede mesurede découpe

MeX est un logiciel qui permet à votre MEB de devenir un appareil de mesure 3D entièrement automatisé. À partir d’images stéréoscopiques acquises à 2 ou 3 angles d’inclinaison de l’échantillon, MeX génère automatiquement un ensemble de données 3D. Ces données 3D précises, haute résolution et robustes permettent de réaliser des analyses métrologiques raccordées. Les résultats obtenus sont indépendants du grossissement du MEB et permettent une analyse à l’échelle macro et micro. MeX ne nécessite aucun matériel supplémentaire et il est adapté à tous les MEB générant des images numériques. En raison du caractère unique de sa routine d’auto-calibration, les données d’étalonnage sont automatiquement affinées. Ainsi, seul MeX permet des mesures 3D raccordables pour tous types de grossissement MEB. Mesures de hauteurs et de rugosité Avec l'analyse de profil, les surfaces sont virtuellement découpées et les profils de hauteurs extraits. L'utilisateur définit la localisation du profil souhaité directement sur l'image optique et reçoit le profil 3D correspondant. La rugosité et le contour sont mesurés selon les normes telles que l’ISO4287/4288. L'analyse du profil permet également la mise en place de formes géométriques simples telles que des cercles, des angles et autres. De plus, des mesures manuelles et semi-automatiques des profils peuvent être réalisées. Analyse du volume L’analyse de volume calcule le volume des creux et des saillies. La surface de mesure est définie par l’opérateur directement sur l'image optique. Le volume est délimité par une surface de couverture minimale ou ‘film de savon’ qui calcule une limite 3D.