Caractéristiques de conception
Grande ouverture claire
Pleine charge initiale sur toutes les haches
Doubles X et axes des ordonnées motivés par linéaire
Encodeur linéaire de non contact pour de grande précision
ABL3600 le double-axe, grande ouverture, cadre ouvert, étape de palier à air satisfait les besoins uniques de la microscopie de balayage et de l'inspection de masque et de gaufrette.
Conception et construction
La combinaison des galets pneumatiques de rigidité et des doubles haches motivées par linéaire fournit à une étape DE X/Y de cadre ouvert des caractéristiques de fonctionnement exceptionnelles. L'ABL3600 représente un surclassement important dans les performances au-dessus des étapes de rapport mécaniques traditionnelles de cadre ouvert.
Comme avec tous les systèmes de palier à air d'Aerotech, des techniques de fabrication de propriété industrielle sont employées pour produire des étapes avec des caractéristiques géométriques non surpassées comprenant la rectitude, la planéité, le lancement, le petit pain et le lacet. L'ABL3600 est fabriqué aux installations productives de pointe d'Aerotech et est usiné avec l'exigence des tolérances qui sont irréalisables par des méthodes conventionnelles.
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