Caractéristiques de conception
Étape DE X/Y intégrée de moteur linéaire de bas-profil
représentation niveau du nanomètre dans un grand format de voyage
Haute résolution (1 nanomètre), répétabilité (75 nanomètre), et exactitude (250 nanomètre)
En position stabilité de <1 nanomètre
incidences de croiser-rouleau d'Anti-fluage
Représentation dynamique élevée avec la technologie de direct-commande
ULTRA option de catégorie de représentation
Introduction
Les étapes de série d'ANT130XY offrent à représentation niveau du nanomètre dans des voyages DE X/Y jusqu'à 160 millimètres. La conception intégrée et lisse fournit extrêmement - un profil bas de seulement 85 millimètres. L'étape vient avec la technologie de propriété industrielle de moteur de direct-commande, les encodeurs linéaires de non contact, les limites, le système de gestion intégré de câble, et trois catégories de représentation.
Conception Ultra-précise d'étape
La conception d'ANT130XY permet des éléments indispensables tels que l'orthogonalité, la rectitude, et la planéité à optimiser, ayant pour résultat une étape avec des tolérances géométriques exceptionnelles. La technologie de la direct-commande d'Aerotech n'a aucune hystérésis ou contrecoup, permettant le mouvement précis et qu'on peut répéter de nanomètre-échelle dans les dimensions de X et de Y. Toutes les options de voyage (60 millimètres x 60 millimètres, 110 millimètres x 110 millimètres, 160 millimètres X 160 millimètres) viennent avec la taille de profil de 85 millimètres. Le système de gestion intégré de câble est conçu pour la longue durée et pour réduire au minimum des forces de résistance à l'avancement
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