Caractéristiques de conception
Intégré, bas-profil, étape DE X/Y de moteur linéaire
représentation niveau du nanomètre dans un grand format de voyage
Haute résolution (1 nanomètre), répétabilité (75 nanomètre), et exactitude (250 nanomètre)
En position stabilité de <1 nanomètre
incidences de croiser-rouleau d'Anti-fluage
Représentation dynamique élevée avec la technologie de direct-commande
ULTRA option de catégorie de représentation
Introduction
Les étapes de série de la FOURMI d'Aerotech sont les premiers systèmes de positionnement niveau du nanomètre du monde avec le voyage de plus considérablement que 25 millimètres. La croiser-rouleau-incidence d'ANT95-XY, moteur linéaire, étape de double-axe fournit extrêmement - un profil bas de seulement 60 millimètres. L'étape vient avec la technologie de propriété industrielle de moteur de direct-commande, les encodeurs linéaires de non contact, les limites, le système de gestion intégré de câble, et trois catégories de représentation.
Conception Ultra-précise d'étape
La conception d'ANT95XY permet des éléments indispensables tels que l'orthogonalité, la rectitude, et la planéité à optimiser, ayant pour résultat une étape avec des tolérances géométriques exceptionnelles. La technologie de la direct-commande d'Aerotech n'a aucune hystérésis ou contrecoup, permettant le mouvement précis et qu'on peut répéter de nanomètre-échelle dans les dimensions de X et de Y. Les deux options de voyage (25 millimètres de X.25 millimètre et 50 millimètres X 50 millimètres) viennent avec la taille de profil de 60 millimètres. Le système de gestion intégré de câble est conçu pour la longue durée et pour réduire au minimum des forces de résistance à l'avancement.
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