Caractéristiques de conception
Répétabilité bidirectionnelle à 75 nanomètre
moteur linéaire de Direct-commande pour le mouvement ultra-précis
Encodeur linéaire de verre-échelle de non contact de grande précision
incidences de croiser-rouleau d'Anti-cage-fluage pour le mouvement sans heurt
Représentation exceptionnelle dans une petite empreinte de pas
L'ALS130H, avec sa résolution de sous-nanomètre, répétabilité bidirectionnelle supérieure et représentation à vitesse réduite exceptionnelle, est la solution inégalée pour l'essai de haute performance, la mesure, l'inspection et d'autres applications exigeantes.
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