Caractéristiques de conception
représentation niveau du nanomètre dans un grand format de voyage
Haute résolution (1 nanomètre), répétabilité (75 nanomètre) et exactitude (250 nanomètre)
En position stabilité de <1 nanomètre
incidences de croiser-rouleau d'Anti-fluage
Représentation dynamique élevée
Grande sélection - 8 modèles dans le voyage et l'exactitude
Les étapes de série d'ANT130L offrent à représentation niveau du nanomètre dans les voyages jusqu'à 160 millimètres. Avec son profil bas et caractéristiques de fonctionnement exceptionnelles, l'ANT130L est la solution finale pour l'alignement, l'inspection, le positionnement, et les stations de grande précision de mesure.
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