Caractéristiques de conception
représentation niveau du nanomètre dans un grand format de voyage
Haute résolution (1 nanomètre), répétabilité (75 nanomètre) et exactitude (250 nanomètre)
En position stabilité de <1 nanomètre
incidences de croiser-rouleau d'Anti-fluage
Représentation dynamique élevée
Introduction
Les étapes de série de l'ANT95L d'Aerotech sont les premiers systèmes de positionnement niveau du nanomètre du monde avec le voyage de plus considérablement que 25 millimètres. Les étapes du croiser-rouleau d'ANT95L et d'ANT95L-PLUS sont les classe meilleure en combinant la vitesse, l'exactitude, la résolution, la répétabilité, la fiabilité et la taille, et sont offertes dans deux catégories d'exactitude. Ces étapes linéaires montrent jusqu'à 5 accélérations de g, vitesse de 500 mm/s, capacité de charge augmentée et sont disponibles avec les modèles de montage bas normalisés et universels qui permettent leur utilisation dans un large éventail de configurations.
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