La serie EddyCus® TF map 5050 es una serie de dispositivos de imagen sin contacto de alta resolución para el muestreo de áreas de hasta 500 x 500 mm (20 x 20 pulgadas). El dispositivo de sobremesa mide automáticamente en varios puntos de medición, normalmente con un paso en X e Y de 1 mm (40 mil) generando mapeos precisos. El sistema adquiere cientos de mediciones por segundo sobre la marcha, lo que da lugar a imágenes de alta resolución que contienen hasta 250.000 puntos de medición por muestra. Los dispositivos de sobremesa permiten, en función de su configuración, la obtención de imágenes precisas del espesor del metal, la resistencia de la chapa o la anisotropía eléctrica. Las imágenes de las propiedades resultantes proporcionan una visión profunda de la homogeneidad de las capas y la densidad de los defectos y, por lo tanto, ofrecen una base profunda para la optimización de materiales y procesos. Las aplicaciones incluyen la garantía de calidad de los procesos de sputtering, evaporación, ALD, CVD, galvanoplastia o dopaje y recocido.
Aspectos destacados
Imágenes sin contacto
Rápido y preciso
Imágenes de alta resolución con un paso de 1 mm (alternativamente de 0,25 a 10 mm)
Áreas de muestreo de 500 x 500 mm (20 x 20 pulgadas)
Análisis avanzado de uniformidad de capas y defectoscopia
Caracterización de capas conductoras ocultas y encapsuladas
Profundas funciones de análisis integradas en el software (perfiles de líneas, análisis de histogramas, análisis de áreas selectivas, estadísticas)
Sistemas híbridos (por ejemplo, combinación de imágenes eléctricas y ópticas)
Control de calidad sistemático, inspección de entrada, inspección de salida
Tipos
Se ofrecen dispositivos con diferentes configuraciones de sensores que utilizan sensores de corrientes parásitas de componentes ópticos.
Características
Tecnología: sensor de corrientes de Foucault sin contacto
Área de muestreo: 500 x 500 mm
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