La sonda RSP3 complementa la sonda RSP2, añadiendo al sistema REVO funciones de inspección 3D (x,y,z) y palpadores acodados. Se utiliza para la medición en continuo de 3 ejes, por ejemplo, con un cabezal fijo REVO durante la medición. La gama de sondas RSP3 permite seleccionar palpadores de distinta longitud manteniendo un rendimiento metrológico óptimo.