La topografía de la superficie y el análisis y la visualización del movimiento dinámico son fundamentales para probar y desarrollar microestructuras como los dispositivos MEMS (sistemas microelectromecánicos). Son indispensables para validar los cálculos de EF, determinar los efectos de diafonía y medir la deformación de la superficie. El analizador de microsistemas MSA-600 es la estación de trabajo de medición óptica "todo en uno" para caracterizar la topografía de la superficie, así como los movimientos dentro y fuera del plano.
Las versiones MSA-600-M/V cubren rangos de frecuencia de hasta 25 MHz, ideales para MEMS, micrófonos MEMS y otros microsistemas. Las versiones MSA-600-X/U cubren el rango de frecuencias altas y muy altas hasta 2,5 GHz, perfectas para la evaluación de resonadores MEMS de alta frecuencia, dispositivos microacústicos como SAW, BAW y otros.
Aspectos destacados
Estación de trabajo de medición óptica todo en uno para microestructuras
Medición de la respuesta en tiempo real (sin necesidad de posprocesamiento)
Versiones MSA-600-M/V con hasta 25 MHz
Versiones MSA-600-X/U con hasta 2,5 GHz
Incomparable resolución de desplazamiento por debajo de los pm
Rápida medición y visualización de las formas de desviación
Manejo sencillo e intuitivo
Sistema automatizado para una fácil integración en las estaciones de sondeo
Opciones de importación/exportación para la validación de modelos FE
El analizador de microsistemas MSA-600 ofrece una mayor flexibilidad y precisión en las mediciones, adaptándose a las necesidades de las microestructuras actuales y futuras. El analizador de microsistemas proporciona datos precisos de respuesta dinámica y estática en 3D que aumentan el rendimiento del dispositivo y reducen los costes de desarrollo y fabricación. Así, mejora y acorta los ciclos de diseño, simplifica la resolución de problemas y mejora el rendimiento.
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