Analizador de materiales MSA-650 IRIS

de presiónbenchtoppara la aeronáutica

La caracterización dinámica de los dispositivos MEMS para medir y visualizar la respuesta mecánica es importante para el desarrollo de productos, la resolución de problemas y la validación de modelos FE. Los analizadores de microsistemas MSA de Polytec proporcionan mediciones ópticas rápidas y precisas del movimiento fuera del plano (OOP) y dentro del plano (IP). Hasta ahora, esto se limitaba a los dispositivos sin embalaje que son accesibles ópticamente. Ahora, el analizador de microsistemas IRIS MSA-650 de Polytec permite incluso medir a través de tapas de silicona intactas en microestructuras encapsuladas como, por ejemplo, sensores interciales, micrófonos MEMS, sensores de presión y otros. Aspectos destacados Capacidad IR para medir la dinámica de los MEMS a través de diferentes capas de dispositivos con tapa de Si Medición de la respuesta fuera del plano en tiempo real hasta 25 MHz (sin posprocesamiento) Resolución de desplazamiento fuera del plano sub-picométrico Validación directa del modelo FE de los MEMS en su estado final Separación superior de las capas individuales del dispositivo Microscopio de vídeo estroboscópico para medir el movimiento en el plano hasta 2,5 MHz Sistema automatizado que se integra bien para la producción (compatibilidad con la estación de sondeo) La solución de medición llave en mano MSA-650 IRIS comprende un controlador, un generador de funciones con canales de referencia adicionales, un potente paquete de software de exploración óptica y un cabezal de sensor óptico con un sofisticado diseño óptico IR. Con su cámara IR dedicada y una fuente SLD de baja coherencia, es el principal sistema de medición de vibraciones de campo completo para capturar capas enteras de muestras a través de tapas de silicio en condiciones de funcionamiento. Esta tecnología de interferómetro patentada ofrece una excelente calidad de datos gracias a una separación superior de las capas individuales del dispositivo.