El XT H 320 cuenta con una fuente de microfoco más potente, capaz de efectuar inspecciones de alta precisión en objetos industriales densos. Nikon Metrology es la única empresa en producir fuentes de rayos X de 320 kV de microfoco. Dado que el tamaño de punto de rayos X de estas fuentes es increíblemente más pequeño que el de las fuentes de minienfoque, los usuarios finales se benefician de la resolución y precisión superior además de una gama más amplia de piezas medibles.