Software de gestión MeX

de análisisde mediciónde corte

MeX es un paquete de software independiente que convierte cualquier SEM con imagen digital en un verdadero dispositivo de metrología de superficies. Mediante el uso de imágenes estereoscópicas, el software recupera automáticamente la información 3D y presenta un conjunto de datos 3D muy preciso, sólido y denso que se utiliza para realizar un examen metrológico trazable. Los resultados se obtienen independientemente del aumento del SEM, proporcionando metrología a nivel macro y micro. No es necesario ningún hardware adicional para ejecutar MeX y puede utilizarse con cualquier SEM. Debido a la rutina única de AutoCalibración, los datos de calibración se refinan automáticamente. Por lo tanto, sólo MeX permite realizar mediciones 3D trazables con cualquier aumento en el SEM. Medición de altura y rugosidad La medición del perfil permite el corte virtual de la muestra. El usuario define una trayectoria en la imagen óptica y recibe el perfil 3D correspondiente. Las mediciones de rugosidad y contorno se ajustan a las normas internacionales EN ISO reconocidas, como la 4287/4288. El análisis del perfil también permite el ajuste de primitivas como círculos, ángulos u otros. Análisis de volumen El análisis de volumen calcula el volumen de los huecos y las protuberancias. El área de medición se define directamente en la imagen óptica. El volumen se determina a lo largo del cálculo de un modelo de película de jabón. Para el límite 3D del área seleccionada, MeX calcula una superficie de cobertura que se comporta como una película de jabón. Mediciones de área El análisis del área proporciona la determinación de Sa, Sq y Sz sobre una superficie. Se obtienen parámetros como la rugosidad, la ondulación y la dimensión fractal de los parches de superficie definidos por el usuario.