Características del diseño
Abertura clara grande
Carga llena en todas las hachas
Hachas linear-motor-conducidas duales de X y de Y
Codificador linear sin contacto para la alta exactitud
El ABL3600 dual-AXIS, abertura grande, de marco abierto, etapa del aire-transporte dirige las necesidades únicas de la microscopia de exploración y de la inspección de la máscara y de la oblea.
Diseño y construcción
La combinación de transportes de aire de la alta tiesura y de hachas linear-motor-conducidas duales provee de una etapa de marco abierto XY características de rendimiento excepcional. El ABL3600 representa una mejora importante en funcionamiento sobre etapas de marco abierto que llevan mecánicas tradicionales.
Como con todos los sistemas del aire-transporte de Aerotech, las técnicas de fabricación propietarias se utilizan para producir etapas con características geométricas sin igual incluyendo rectitud, llanura, echada, el rollo y el desvío. El ABL3600 se fabrica en la instalación de producción avanzada de Aerotech y se trabaja a máquina con la exigencia de las tolerancias que son inalcanzables por métodos convencionales.
---