Características del diseño
Etapa integrada, discreta, XY del motor linear
funcionamiento del Nanómetro-nivel en un formato grande del viaje
Alta resolución (1 nanómetro), repetibilidad (75 nanómetro), y exactitud (250 nanómetro)
estabilidad de la En-posición de <1 nanómetro
transportes del cruzar-rodillo del Anti-arrastramiento
Alto funcionamiento dinámico con tecnología de la directo-impulsión
ULTRA opción del grado del funcionamiento
Introducción
Las etapas de la serie de la HORMIGA de Aerotech son los primeros sistemas de colocación del nanómetro-nivel del mundo con viaje de mayor de 25 milímetros. El cruzar-rodillo-transporte de ANT95-XY, motor linear, etapa de dual-AXIS proporciona extremadamente - un perfil bajo de solamente 60 milímetros. La etapa viene con tecnología propietaria del motor de la directo-impulsión, codificadores lineares sin contacto, límites, el sistema de gestión de cable integrado, y tres grados del funcionamiento.
Diseño Ultra-exacto de la etapa
El diseño de ANT95XY permite elementos críticos tales como ortogonalidad, rectitud, y llanura que se optimizará, dando por resultado una etapa con tolerancias geométricas excepcionales. La tecnología de la directo-impulsión de Aerotech no tiene ninguna histéresis o contragolpe, permitiendo el movimiento exacto y repetible de la nanómetro-escala en las dimensiones de X y de Y. Ambas opciones del viaje (25 milímetros de X.25 milímetro y 50 milímetros x 50 milímetros) vienen con la altura del perfil de 60 milímetros. El sistema de gestión de cable integrado se diseña para la larga vida y minimizar fuerzas de fricción.
---