Der EddyCus TF map 5050SR ist ein berührungsfreier Scanner für die hochauflösende Visualisierung des Schichtwiderstandes oder korrelierender Eigenschaften wie Metalldicken. Das System ist geeignet für Probengrößen von 50 x 50 mm bis 500 x 500 mm. Das Tischgerät (bench-top) ermittelt selbständig den Schichtwiderstand an einer Vielzahl von Messpunkten, typischerweise in einem Raster in X und Y von 1 mm. Somit wird ein akkurates Mapping des Schichtwiderstandes über die gesamte Probenfläche erzeugt Es entstehen hochauflösende Eigenschaftsbilder mit vielen Tausend Messpunkten in wenigen Sekunden bzw. Minuten, welche eine Vielzahl von Informationen für die Schichtentwicklung und Qualitätssicherung enthalten.
Vorteile
Berührungslose live Messung
Hochauflösende Messung mit 1 mm Messpunktabstand (0.25 bis 10 mm Pitch bestellbar)
Probenauflage 500 x 500 mm (20 x 20 inches)
Messung ist unabhängig von Kontaktqualität im vgl. zu kontaktierenden Verfahren
Hochauflösende Mappings von leitfähigen Dünnschichten zeigen Material und Prozess-Inhomogenitäten
Charakterisierung auch von verdeckten leitfähigen Schichten und verkapselten Substraten
Zahlreiche software-integrierte Analysefunktionen (z.B. Histogramm, Standardabweichung, Linienscans, Einzelpunktanalysen)
Laden, Speichern und Exportieren von Mess- und Mappingdaten
Nutzerfreundliche PDF Reportingfunktion für systematische Dokumentationen
Eigenschaften
Technologie: berührungsfreier Wirbelstromsensor