Die EddyCus® TF map 2530 Serie misst automatisch und berührungslos den Schichtwiderstand von Proben mit einer Größe bis zu 300 x 300 mm² (12 x 12 Zoll). Nach der manuellen Deponierung der Probe im Gerät, bewegt sich die Probe automatisch unter den Messkopf entlang und nimmt die Messwerte auf. Daraus entsteht eine sehr genaue Abbildung des Schichtwiderstands über die gesamte Probenfläche, welche im Anschluss der Messung in der Software angezeigt wird. Die Messeinstellungen erlauben eine einfache und flexible Wahl zwischen einer kurzen Messdauer von unter 1 Minute oder einer hohen räumlichen Messauflösung von mehr als 100.000 Messpunkten.
Highlights
Berührungsfrei
Schnelle und präzise Messungen
Hochauflösende Bildgebung von leitfähigen Dünnschichten
Bildgebung von Substraten bis zu 300 x 300 mm (12 x 12 inches)
Charakterisierung selbst von verdeckten und verkapselten leitfähigen Schichten möglich
Verschiedene Analysefunktionen innerhalb der beiliegenden Software (z.B. Schichtwiderstandsverteilung, Linienprofile, Einzelpunktanalyse)
Funktion zum Messdaten speichern und exportieren
Defekterkennung und Beschichtungsanalyse
Varianten
Die Geräteplattform ist in verschiedenen Sensorausführungen verfügbar. Dazu zählen Wirbelstromsensoren für die elektrische Charakterisierung und Sensoren für die Charakterisierung optischer Parameter. Zur Auswahl der Messgerätekonfigurationen stehen folgende Varianten
Charakteristiken
Technologie: Berührungsloser Wirbelstrom
Bildgebung durch die Aufnahme tausender einzelner Messpunkte
Probengröße: 300 x 300 mm
Empfohlene Probengröße: 1 inch bis 12 inch bzw. 25 bis 300 mm