Der EddyCus TF lab 2020 ist ein Einzelpunktmessgerät zur berührungsfreien Messung des Schichtwiderstands von leitfähigen Dünnschichten und der Schichtdicke von metallischen Schichten. Das kleine Tischgerät eignet sich für die schnelle und akkurate manuelle Messung von Proben bis zu 200 x 200 Millimeter. Neben der Messung von dünnen leitfähigen Schichten können auch dotierte Wafer und leitfähige Polymere berührungsfrei gemessen werden.
Vorteile
Berührungslose Echtzeit-Messung
Präzise Messung von leitfähigen Dünnschichten
Charakterisierung auch von verdeckten leitfähigen Schichten und verkapselten Substraten
Speicherung und Export von Messdaten und Messreihen
Eigenschaften
Schichtwiderstand
Schichtdicke metallischer Schichten
Einzelpunktmessung
Qualitätskontrolle, Wareneingangskontrolle, Warenausgangskontrolle
Substratgrößen: 10 x 10 mm² bis 200 x 200 mm² (0,5 – 8 inch Wafer)
Messbereich: 0,0001 – 100.000 Ohm/sq
Einsatzgebiete
Architekturglas (LowE-Schichten)
Displays, Touchscreens und Flachbildschirme
OLED & LED-Anwendungen
Smart-glass Anwendungen
Graphen-Schichten
Photovoltaik-Wafer und Zellen
Halbleiterwafer
Metallische Schichten und Wafermetallisierungen
Enteisungsschichten- und Heizanwendungen
Batterieelektroden
Leitfähiges Papier und leitfähige Textilien