Der EddyCus® TF lab 4040 ist ein Einzelpunktmessgerät zur berührungsfreien Messung des Schichtwiderstands, insbesondere von großen Substraten. Das flexibel konfigurierbare Tischgerät erlaubt die präzise manuelle Messung von leitfähigen Dünnschichten und der Schichtdicke von metallischen Schichten. Das Spektrum der Anwendungen umfasst die Messung von dünnen leitfähigen Schichten, dotierten Wafern und leitfähigen Polymerschichten.
Vorteile
Berührungslose Messung in Echtzeit
Hohe Genauigkeit und sehr gute Widerholgenauigkeit
Präzise Schichtwiderstand-Messung von leitfähigen Dünnschichten auf großen Substraten
Konventionelle leitfähige Dünnschichten
Gitter und Drahtstrukturen
Mehrschichtsysteme
Verdeckte und gekapselte leitfähige Schichten
Schichtdickemessung von metallischen Schichten [nm]
Keine Beeinträchtigung von empfindlichen Schichten
Kein Verschleiß
Softwareunterstütztes manuelles Mapping
Software Development Kit Testautomatisierung mit Kundenprogrammen
Bestimmung von verdeckten leitfähigen Schichten
Charakterisierung von verkapselten Substraten
Export von Messergebnissen
Platzsparende Monitor-Integration (für Messung via Touchscreen und Datenauswertung)