Hochgenaues berührungsloses Messsystem
Liefert äußerst hohe Präzision bei einer Linearität von ± 0,5 μm über den gesamten Messbereich (0,05 mm bis 10 mm) und von ± (0,3+0,1ΔD) μm auf Teilmessstrecken.
Äußerst hohe Wiederholpräzision von ± 0,04 μm.
Hohe Scanrate von 3200 scans/s.
Auflösung
(einstellbar):
0,00001 - 0,01 mm
Linearität bei 20°C *¹:
Gesamter Messbereich:
± 0,5 µm
Teilmessstrecke
± (0,3 +0,1ΔD) µm
Positionsfehler*²:
±0,5 μm
Messbereich
:
2 x 10 mm
(⌀ 0,05 - 1 mm)
Wellenlänge des Lasers:
650 nm, sichtbar
Messfrequenz:
3200 scans/s
Abtastgeschwindigkeit des Lasers:
113 m/s
Vorgeschriebene Lasernorm:
IEC, FDA
Wiederholpräzision (±2ơ):
±0,04 μm
Zoll/Metrisch:
Metrisch