MEMS-basierte Druckaufnehmer sind ideal für die Messung von Drücken mit hoher Leistung und hoher Genauigkeit, daher werden MEMS-basierte Druckaufnehmer ausgewählt, um herkömmliche gebundene DMS-Aufnehmer in verschiedenen Trägerraketen- und Flugzeuganwendungen zu ersetzen. Die MEMS-Druckzelle besteht aus einer mikrobearbeiteten Siliziummembran als Sensorelement auf der Oberseite, auf der die Piezowiderstände in der Konfiguration einer Weizensteinbrücke zur Bildung der Transduktionseinheit implantiert werden. Die Zuverlässigkeit und Qualität dieses MEMS-basierten Absolutwertgebers sind effektive Prozesskontrolle, Online-QC, systematische Prüfung und Auswertung.
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