Die langjährige Erfahrung von Aerotech bei der Bereitstellung äußerst präziser Positioniersysteme in Hi-Tech-Anwendungsbereichen wie der Halbleiterherstellung ermöglicht die laufende Weiterentwicklung und Verbesserung wichtiger Bewegungstechnologien. Auf der Basis dieser Technologien hat Aerotech den PlanarHDX entwickelt, die fortgeschrittenste kommerziell erhältliche, luftgelagerte, planare Plattform auf dem Markt. Der PlanarHDX wurde mithilfe einer FEA-optimierten Siliziumcarbid-Konstruktion und optimierten Luftlager-Kompensationsverfahren entworfen und bietet die höchstmögliche dynamische Performance bei gleichzeitig einmaligen geometrischen Eigenschaften und außerordentlich hoher Positioniergenauigkeit.