Die Tische der Serie PlanarDL von Aerotech bieten eine hervorragende geometrische und dynamische Performance in einem kompakten Paket mit Niedrigprofil. Aufgrund vieler verschiedener Verfahrweg- und Performance-Optionen ist dieser Tisch ideal für eine Reihe von Anwendungen geeignet, vom Oberflächen-Profiling bis hin zum LED-Wafer-Scribing.